Mikro- i nanoelektromehanički sustavi

Studij: Diplomski studij Inženjerstvo i fizika materijala 
Godina: II.
Semestar: ljetni
Broj sati u semestru (P+V+S): 30+15+0
Status predmeta: izborni
ECTS: 5

Opis predmeta:  .pdf

Izvedbeni program:  .pdf

Sadržaj
Definicija mikro i nano elektro-mehaničkih sustava (MEMS i NEMS). Osnovna terminologija. Zakonitosti skaliranja kod minijaturizacije. Procesi proizvodnje MEMS i NEMS. Materijali. Korištenje bioloških i drugih inovativnih materijala i tehnologijskih procesa. Projektiranje i integracija sustava. Modeliranje sustava. Osnove mikro i nano tribologije. Osnove mikro hidraulike. MEMS i NEMS sustavi u praksi. Proračun, modeliranje i mjerenje kod mikro elektro-mehaničkih komponenti i sustava.

Obvezna literatura
  1. Springer Handbook of Nanotechnology, Springer Verlag, Berlin (D), 2004.
  2. T.-R. Hsu: MEMS & MICROSYSTEMS – Design and Manufacture, McGraw Hill, Boston (MA, USA), 2002.
  3. M. J. Madou: Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, Boca Raton (FL, USA), 2002.