Mikro i nano znanosti i tehnologije

Studij: Diplomski studij Fizika
Godina: I./II.
Semestar: zimski
Broj sati u semestru (P+V+S): 30+15+15
Status predmeta: obvezatan/izborni
ECTS: 6

Opis predmeta:  .pdf

Izvedbeni program:  .pdf

Sadržaj
Redovi veličina. Osnove mikro i nanotehnologija. Definicija mikro i nano elektro-mehaničkih sustava (MEMS i NEMS). Osnovna terminologija. Zakonitosti skaliranja kod minijaturizacije. Procesi proizvodnje MEMS i NEMS. Materijali. Montaža i manipulacija elemenata mikro sustava. Korištenje bioloških i drugih inovativnih materijala i tehnologijskih procesa. Projektiranje i integracija sustava. Modeliranje sustava. Osnove mikro i nano tribologije. Osnove mikro hidraulike. MEMS i NEMS sustavi u praksi. Proračun, modeliranje i mjerenje kod mikro elektro-mehaničkih komponenti i sustava. Ogledni primjeri mikro i nano sustava.

Obvezna literatura
  1. ***: Springer Handbook of Nanotechnology, Springer Verlag, Berlin (D), 2004.
  2. T.-R. Hsu: MEMS & MICROSYSTEMS – Design and Manufacture, McGraw Hill, Boston (MA, USA), 2002.
  3. M. J. Madou: Fundamentals of Microfabrication, CRC Press, Boca Raton (FL, USA), 2002.