Maseni spektrometar sekundarnih iona

 

Oprema je kupljena u sklopu projekta Razvoj istraživačke infrastrukture na kampusu Sveučilišta u Rijeci (RISK), koji je sufinancirala Europska unija iz Europskog fonda za regionalni razvoj.



SIMS (Masena spektroskopija sekundarnih iona, Secondary Ion Mass Spectroscopy)
 je analitička tehnika za elementnu analizu i mjerenje ultraniskih koncentracija primjesa i nečistoća u različitim materijalima i tankim filmovima s posebno značajnom primjenom u fizici poluvodiča i poluvodičkoj tehnologiji. Detekcijske granice su za većinu elemenata u ppm ili čak u ppb području, pa je po tome SIMS jedna od najosjetljivijih tehnika za elementnu analizu.

SIMS se temelji na detekciji iona (sekundarnih iona) izbijenih s površine uzorka za vrijeme bombardiranja površine energetskim ionima (primarnim ionima). Primarni ioni erodiraju površinu (sputtering), a mali postotak izbačenih atoma ili molekula je ioniziran (sekundarni ioni). Kao izvor primarnih iona naš uređaj koristi ione Cs+, O2+ ili Ar+, a može detektirati pozitivne ili negativne sekundarne ione (atomske i molekularne) u rasponu 1amu do 500 amu, koristeći kvadrupolni maseni analizator.

U statičkom modu, SIMS se koristi za analizu elemenata na samoj površini uzoraka, a u dinamičkom modu, kroz eroziju površine (stvaranje kratera na površini), za dubinsko profiliranje elemenata. Naš instrument posjeduje i mogućnost detekcije neutralnih atoma i molekula kroz SNMS mode ( Masena spektroskopija sekundarnih netralnih čestica, Sputtered Neutral Mass Spectroscopy) . Neutralni atomi izbačeni s površine uzoraka za vrijeme ionskog bombardiranja prije ulaska u kvadrupol se ioniziraju pomoću elektronskog izvora.








Bruker DektakXT™ stylus profilometar površina koristi se za mjerenja fizikalnih varijacija na površinama na nanometarskoj razini. Prvenstveno ga koristimo za određivanje dubine kratera nakon SIMS/SNMS analize i za mjerenja hrapavosti površina. 

 

 

 


 

 
.